微小气体流量计（半导体和集成电路工业、）

小热式质量流量计--用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。

气体质量流量控制器的精度、坚固性及可靠性源于我公司的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金RTD丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上，牢固且可靠。整个传感器密封在316不锈钢包装壳内。

1 量程范围 （20,30,50,100,200,300,500）SCCM

（0~1,2,3,5,10） SLM

2 准确度 +1.5%F.S

3 线性 +0.5~1.5%F.S

4 重复精度 +0.2%F.S

5 响应时间 电特性：10sec 气特性：（1~4）sec

6 工作压差 0.1~0.5MPa

7 耐压 3Mpa 6Mpa 10Mpa

8 工作环境温度 0~70℃

9 数字量 RS485 MODBUS协议

10 模拟量 DC0~5V，4~20mA可选

11 供电 DC+15V/24V可选，流量计＜50mA，控制器＜200mA

12 电气连接 DB15

13 漏率 1×10 -8SCCSHe

14 底座材质 316L不锈钢

15 密封材质 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶

16 气路街头 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞

注意:

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N₂)标定.

质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)

标准状态规定为： 温度-----273.15K (0℃);

气压-----101325Pa （760mm Hg）

F.S(FullScale); 满量程值